PR-33-S: Rifrattometro di Processo Camere Sterili

PR-33-S: Rifrattometro di Processo Camere Sterili

Il Rifrattometro di Processo Camere Sterili PR-33-S di K-PATENTS è un analizzatore privo di elettronica remota per fase liquida in grado di calcolare in modo diretto la variazione dell’Indice di Rifrazione a seconda della quantità di soluto sciolto in un solvente cioè della sua Concentrazione. K-PATENTS ha progettato specificatamente il modello PR-33-S per soddisfare le esigenze degli Integratori di Sistema per Skid o Macchine dedicate alla Produzione dei Semiconduttori o stampati in genere che necessitano di un analizzatore preciso, ripetibile ma estremamente compatto. PR-33-S controlla in tempo reale la concentrazione delle soluzioni chimiche, come Acido Cloridrico o Fluoridrico nella produzione dei semiconduttori per una produzione ottimale agendo come watchdog per un early warning in caso di concentrazioni fuori specifica. Oppure nella fase di Etching la composizione KOH & H2O viene strettamente controllata ottimizzando sia il make-up di KOH ma soprattutto garantendo la qualità di ogni batch. Ancora nella Planarizzazione chimico-meccanica dei semiconduttori (CMP, Chemical Mechanical Planarization) dove si esegue il processo di finitura dei wafer di silicio con fanghi (slurries) altamente specifici che creano sui wafer semiconduttori dei film planari, il Rifrattometro di Processo Semiconduttori PR-33-S offre il massimo controllo sulla concentrazione di agenti chimici utilizzati come il perossido di Idrogeno H2O2.

Grazie alle sue caratteristiche analitiche:

  • Range Indice di Rifrazione nd = 1.3200 – 1.5300 , con prisma zaffiro H73
  • Range Esteso opzionale nD=1.2600…1.4700, con prisma zaffiro H74 per Acido Fluoridrico HF
  • Accuratezza nd ± 0.0002 pari allo ± 0.1% in peso
  • Sorgente di luce LED a 589 nm di lunghezza d’onda Sodio-d per un rapido raffronto con gli standard in letteratura ed i risultati del Laboratorio

il Rifrattometro di Processo Camere Sterili PR-33-S controlla in tempo reale le concentrazioni di sostanze chimiche e fornisce un segnale di uscita Ethernet e un feedback immediato, se la sostanza chimica non è conforme alle specifiche. Ad esempio, allarmi di bassa e alta concentrazione possono essere configurati per aumentare la durata del bagno di sostanze chimiche costose e diminuire lo scarto dei wafer non conformi. Dati puntuali, registrazioni e configurazioni sono sempre processate e rese disponibili al Responsabile Qualità tramite un web browser standard su un comune pc.

PR-33-S di K-PATENTS non ha deriva di calibrazione e non ha bisogno di manutenzione, regolazione o ricalibrazione nel tempo. Il sensore è tarato per misurare rifrazione nD indice e temperatura T in unità standard di fabbrica. Ogni sensore ha una calibrazione universale nel range nD = 1,32 … 1,53 (corrispondente allo 0-100% in peso). Dato che i sensori hanno calibrazione identici e ogni sensore computa l’indice di rifrazione nD e la temperatura in uscita, tutti i sensori possono essere liberamente scambiati senza calibrazione o modifica dei parametri ottici. Ogni Rifrattometro di Processo Camere Sterili PR-33-S viene fornito con un rapporto di taratura ottenuto confrontando una serie di liquidi ad indice di rifrazione certificato con i valori effettivamente misurati. La calibrazione e la precisione possono essere facilmente verificati in loco con lo stesso set di liquidi certificati anche da parte dello stesso Cliente.

PR-33-S si installa facilmente nel processo grazie alla sua grande varietà di celle di flusso e connessioni: Flare fitting o Nippon Pillar Super 300 per i seguenti DN ¼”, ½”, ¾”, 1”… e presenta le parti bagnate in PTFE mentre il prisma stesso è in Zaffiro con O-ring in Kalrez e tenute ancora in PTFE. Il corpo invece è costruito interamente in Ultra-pure Kynar® PVDF.

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