Il Rifrattometro di Processo Semiconduttori PR-23-MS di K-PATENTS VAISALA è un analizzatore specifico fase liquida in grado di calcolare in modo diretto la variazione dell’Indice di Rifrazione a seconda della quantità di soluto sciolto in un solvente cioè della sua Concentrazione. PR-23-MS controlla in tempo reale la concentrazione delle soluzioni chimiche, come Acido Cloridrico o Fluoridrico nella produzione dei semiconduttori per una produzione ottimale agendo come watchdog per un early warning in caso di concentrazioni fuori specifica. Oppure nella fase di Etching la composizione KOH & H2O viene strettamente controllata ottimizzando sia il make-up di KOH ma soprattutto garantendo la qualità di ogni batch. Ancora nella Planarizzazione chimico-meccanica dei semiconduttori (CMP, Chemical Mechanical Planarization) dove si esegue il processo di finitura dei wafer di silicio con fanghi (slurries) altamente specifici che creano sui wafer semiconduttori dei film planari, il Rifrattometro di Processo Semiconduttori PR-23-MS offre il massimo controllo sulla concentrazione di agenti chimici utilizzati come il perossido di Idrogeno H2O2.

Grazie alle sue caratteristiche analitiche:

• Range Indice di Rifrazione nd = 1.3200 – 1.5300 , con prisma zaffiro H73
• Range Esteso opzionale nD=1.2600…1.4700, con prisma zaffiro H74 per Acido Fluoridrico HF
• Accuratezza nd ± 0.0002 pari allo ± 0.1% in peso
• Sorgente di luce LED a 589 nm di lunghezza d’onda Sodio-d per un rapido raffronto con gli standard in letteratura ed i risultati del Laboratorio

il Rifrattometro di Processo Semiconduttori PR-23-MS offre al Responsabile di Produzione tutti i vantaggi di una misura accurata ed in tempo reale mentre il Responsabile di Laboratorio è in grado di controllare rapidamente la validità delle analisi in corso. La conversione non lineare dall’indice di rifrazione Brix o unità di concentrazione e anche la compensazione della temperatura sono basati su tabelle standard. Esse sono pre-programmate all’interno del trasmettitore indipendentemente dal sensore. Pertanto, tutti i sensori sono liberamente intercambiabili. Ogni sensore è fornito di un Certificato di taratura ottenuto confrontando una serie di liquidi ad Indice di Rifrazione Certificata con l’output effettivo del sensore. Quindi, sia la calibrazione che la precisione dello strumento possono essere facilmente verificati on-site, anche direttamente dal Cliente, con un semplice set di liquidi certificati. PR-23-MS si installa nel processo grazie alla sua grande varietà di celle di flusso e connessioni: Flare fitting o Nippon Pillar Super 300 per i seguenti DN ¼”, ½”, ¾”, 1”…E grazie alla possibilità del doppio canale è possibile raddoppiare i punti di analisi con un minimo investimento. PR-23-A è disponibile con versioni certificate ATEX IECEx per Zona 2, Zona 1, Zona 0 anche con elettronica remota in esecuzione EEx d.